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Virtuoses SMIF Pod Handling

Adept zeigt einen autonomen Indoor-Transporter für das Handling von SMIF Pods in der Halbleiterproduktion

07.03.2014
adept

In den 1980er-Jahren wurde die SMIF (Standard Mechanical Interface)-Technologie entwickelt, um kleine Reinraumbereiche für die Aufbewahrung und den Transport von Siliziumwafern herzustellen. Dabei handelt es sich in der Regel um transparente Kunststoffboxen, den so genannten SMIF Pods. Die SMIF Pods reduzieren die manuelle Handhabung von Wafern und ermöglichen ihre Aufbewahrung in einem klimakontrollierten, kontaminationsfreien Umfeld. Der Umgang mit den SMIF Pods selber ist inzwischen ebenfalls weitgehend automatisiert. Die aktuellste Entwicklung in diesem Segment kommt von der Adept Technology GmbH und kann auf der HANNOVER MESSE 2014 erstmalig begutachtet werden.

Der Adept SPH-2200 ist ein vollautomatisierter autonomer Indoor-Transporter für das Handling von 150 oder 200 mm SMIF Pods in der Halbleiterproduktion. Er ist ohne Veränderung der Infrastruktur sofort einsatzbereit und bewegt sich selbst in einem beengten und von Menschen frequentierten Umfeld stets sicher, ohne dass es zu Beeinträchtigungen im Tagesgeschäft kommt. Der Adept SPH-2200 ermöglicht den vollautomatischen Austausch von SMIF Pods aus verschiedenen Stationen einschließlich Produktionsanlagen und Regalen, die jeweiligen Transportaufträge werden dabei durch die Adept Enterprise Manager Software initiiert.

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