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HANNOVER MESSE 2018, 23. - 27. April
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Beschichtung und Mikrostrukturierung

Leibniz-Gemeinschaft

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Messestand
Thema: Young Tech Enterprises - Industrial Startups, Spinoffs und junge Gründer

Produktbeschreibung

Beschichtung und Mikrostrukturierung von opto- und mikroelektronischen Bauelementen wie Laser und Sensoren mittels Plasmatechnologie ist unsere Dienstleistung für Sie.
Die von uns entwickelte innovative Plasmaquelle erlaubt schädigungsarme Prozessierungen durch niedrige Ionenenergien und die konforme Beschichtung mit leitfähigen und isolierenden Schichten bei hoher Rate und geringer Verspannung.

Unsere Dienstleistungen für Sie:
- Beratung zu Prozessen
- Anpassung der Prozesse auf Ihre Anforderungen
- Koordination und Durchführung der Prozessschritte
- Entwickeln von neuen Prozessen nach Kundenwunsch

Prozesse:
- Beschichten Si-haltiger Schichten (SiO2, Si3N4, a-Si) mit ICP-Prozessen
- TiN Beschichtungen mit ICPECVD
- Strukturieren mit ICP-Prozessen
- spezielle dielektrische Schichten: low damage, mid-IR-kompatibel
- Beschichtungen auf temperaturempfindlichen Substraten wie Polymeren

Wir bieten:
- langjährige Erfahrungen zur Prozessierung
- Prozess- und Anlagen-Know-How und
- kurzfristige Anlagen-Verfügbarkeit

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