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HANNOVER MESSE 2018, 23. - 27. April
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Heizplatten und Heizchucks

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Aussteller

Bach Resistor Ceramics

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Produktbeschreibung

Vollkeramische Heizplatten aus Siliziumnitrid mit integriertem keramischen Heizleiter werden in der Halbleiterindustrie für die Herstellung und Verarbeitung von Siliziumwafern eingesetzt. Die exzellente mechanische Festigkeit und Hochtemperaturstabilität von Siliziumnitrid ermöglicht den Einsatz bei Temperaturen bis zu 1000°C unter Druckbelastung oder im Hochvakuum. Heizplatten aus Siliziumnitrid können ebenfalls in Laborgeräten sowie in PVD und CVD - Prozessen eingesetzt werden. Ebenfalls eignen sie sich als Strahlungsheizer.

Produkt-Website

Halle 5, Stand A18

Keramik Gemeinschaftsstand - Verband der keramischen Industrie

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