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HANNOVER MESSE 2018, 23. - 27. April
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PI2-UHP-50 und PI2-UHP-100

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Produktbeschreibung

Kosteneffiziente PPB Sauerstoff Analysatoren für Gasreinheit in Halbleiter Anwendungen
Mit einer unteren Nachweisgrenze von weniger als 100 PPT wurden die Analysaoren speziell für die Messung von Kontaminierungen durch Sauerstoffspuren in UHP Gasen entwickelt. Der Pico-Ion elektrochemische Sensor ist wartungsfrei und Routine Kalibrierungen sind dank der Auto-Kalibrierung und dem integrierten Aufbereitungssystem einfach und schnell durchzuführen. Die externe Zuführung von Elektrolyten ist nicht notwendig.

Zur Sicherstellung der vollständigen Freiheit von O2 im Nullgas, wurde ein Sauerstoff-Scrubber als Bestandteil in das Aufbereitungssystems integriert. Ein Bypass-Vierwegeventil isoliert und schützt den Sensor vor hohen Sauerstoffgehalten während der Inbetriebnahme, bei der Umschaltung von Messlinien und während der Wartung.

Produkt-Website

Halle 11, Stand B72

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