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Mobiler Roboter automatisiert die Halbleiterproduktion

Als Folge der Digitalisierung steigt die Halbleiternachfrage kontinuierlich und setzt Hersteller unter Zugzwang, die Effizienz durch weitere Prozessautomatisierungen zu erhöhen. Ein autonom agierender Roboter von KUKA soll dabei helfen.

06.09.2019
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Mobiler Roboter automatisiert die Halbleiterproduktion (Foto: KUKA AG)

Mit der KUKA Wafer Handling Solution präsentiert der Roboterhersteller aus Augsburg eine mobile, vollautomatisierte Transportlösung für die Halbleiterbranche. KUKA kombiniert dabei seinen Leichtbauroboter LBR iiwa mit einem fahrerlosen Transportfahrzeug (FTF) und einer speziell angepassten Software. Diese ermöglicht die Anbindung an ein Manufacturing Execution System und integriert einen Flotten-Manager zur Automatisierung und Steuerung von Transportaufträgen.

Der für den Einsatz in der Reinraumumgebung der Silizium-Wafer-Verarbeitung konzipierte Roboter bewegt sich autonom und omnidirektional. Sein patentiertes, neu entwickeltes Greifer-System soll einen erschütterungsfreien Transport von Wafer-Kassetten ermöglichen. Damit kommt die Lösung dem steigenden Bedarf der Halbleiterindustrie nach neuen Automatisierungsmöglichkeiten entgegen, um der voraussichtlich auch künftig weiter wachsenden Nachfrage zu begegnen.

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