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HANNOVER MESSE 2020, 20. - 24. April

Plasmadiagnose

Massenanalysator und Energieanalysator für Plasmauntersuchungen

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Aussteller

Hiden Analytical

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Produktbeschreibung

Plasmaanalyse-System zur energieaufgelösten Massen-Speziation und massenaufgelösten Energieanalyse aller Spezies in ihrem Plasma

Positive Ionen, Negative Ionen, Neutrale Radikale und Analyse von Neutralteilchen.
Ätzen / Depositionsstudien
Ionenimplantation / Laserablation
Restgasanalysen / Leckdetektion
Plasmaelektrodenkopplung – folgt den Elektrodenbedingungen während des Betriebs.
Analyse durch ein Sichtfenster, geerdete Elektrode, fahrbare Elektrode.
Das Hiden EQP ist ein kombinierter Massen-/Energieanalysator für die Plasmaanalyse von positiven und negativen Ionen, Neutralteilchen und Radikalen aus dem Plasmaprozess, mit folgenden Eigenschaften:

Softwaregesteuerte Ionenextraktionsoptik für Plasma-Störungen.
45° Elektrostatischer Sektoranalysator, Scan-Energien in 0.05 eV Schritten/ 0.25 eV FWHM.
Minimale Störung des Ionenflugpfades & konstante Ionentransmission bei allen Energien.
Differentiell gepumpter Triplefilter-Quadrupol, Massenbereich optional bis 2500 amu.
Hohe Sensitivität / Stabilität des gepulsten Ionenzähldetektors mit 7 Dekaden umfassenden dynamischem Bereich.
Abstimmbarer integrierter Ionisator für „Appearance Potential MS“ mit Option zur Elektronenanlagerung.
Penning-Meßröhre und Schalter zum Schutz vor Überdruck (Interlocks).
Signal-Gating und programmierbare Signal-Gating Option für zeitaufgelöste Untersuchungen in gepulsten Plasmen.
1000 eV Option, Floating Option bis zu 10 keV, Faraday Cup für „High Density“ Plasmen.
Mu-Metall, Radio-Metallabschirmung optional, Option für Hochdruckbetrieb.
MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

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