Pfeiffer Vacuum mit Sitz in Aßlar ist einer der weltweit führenden Entwickler, Hersteller und Anbieter von Lösungen für Vakuumtechnik und Dichtheitsprüfung. Mit dem jetzt neu vorgestellten Massenspektrometer HiQuad Neo vereint Pfeiffer Vacuum laut eigener Aussage starke Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung. Das Massenspektrometer soll eine besonders hohe Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u erreichen. Es zeichnet sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus. Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Mit diesen Eigenschaften soll das HiQuad Neo besonders für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, aber auch für eine Integration in Analysesysteme sowie für Sauberkeitsverifizierungen in der EUV-Lithografie geeignet sein.

Pfeiffer Vacuum weist darauf hin, dass auch Geräte der Vorgängergeneration unter Verwendung einiger vorhandener Komponenten – genannt wird beispielsweise der Analysator – auf den neuesten technologischen Stand des HiQuad Neo upgedatet werden können. Auf diese Weise sollen Abfall und Kosten reduziert werden.

Mit Hilfe der PV MassSpec Software lässt sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Sie bietet laut ihrer Entwickler eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer können komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmiert werden. Ein Klick genügt, um die Lecksuche und Vakuumdiagnose durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist einfach, zudem ist eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Alternativ kann auch direkt über die Ethernet-Schnittstelle (via OPC-UA) kommuniziert werden. Diese Funktionalitäten soll eine effiziente und benutzerfreundliche Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen bieten.

Video