Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH aus Erfurt ist eine privatwirtschaftlich organisierte, gemeinnützige, wirtschaftsnahe Forschungseinrichtung mit etwa 120 Mitarbeitern. Sie gehört nach eigenem Bekunden zu den führenden Instituten für die Entwicklung hochwertiger, siliziumbasierter Mikrosensoren und Mikrosystemen, speziell in den Bereichen MEMS und MOEMS. Aufbauend auf einer 30-jährigen „Competence in Silicon“ soll die Expertise von F&E-Leistungen bis zur Kleinserienfertigung kundenspezifischer Mikrokomponenten reichen.

Im Vorfeld der HANNOVER MESSE 2025 gaben die Thüringer den Projektstart von NIVO2 bekannt, bei dem ein neuartiger isothermer Thermopile-Infrarotsensor entwickelt werden soll. Zu Erklärung: Thermopilesensoren ermöglichen die kühlungsfreie Infrarotdetektion und kommen in berührungslosen Systemen zur Temperatur- und Gaskonzentrationsmessung zum Einsatz. Hierfür gibt es einen großen Marktbedarf, beispielsweise in der Umwelttechnik zur Überwachung von Treibhausgasemissionen, in der medizinischen Diagnostik und der Gebäudesicherheit.

Doch gerade unter rauen Umgebungsbedingungen sind die Thermopilesensoren starken Störungen ausgesetzt, die zu großen Fehlern und Instabilitäten führen können. In dem neuen Forschungsvorhaben NIVO2 soll daher eine neuartige isotherme Lösung untersucht werden, um diese Problematik zu minimieren. Darüber hinaus soll eine Vorderseitenätzung zur Herstellung dünner Membranen entwickelt und in die Thermopilesensoren integriert werden. Grundlage bilden neuartige isotherme Sensordesigns sowie isotherme Sensormontagen. Diese werden nach theoretischer Analyse und numerischer Simulation im Projekt realisiert, um eine geringe Drift bei externen thermischen Störungen zu erreichen. Ziel der beiden Innovationen ist die Entwicklung eines kostengünstigen und universell einsetzbaren Thermopile-Infrarotsensors.