Der globale MEMS-Markt ist nach Anwendungen unterteilt: Konsumgüter, Automobilsektor, Gesundheitswesen, Industrie etc. Yole Développement hat in seinem letzten MEMS-Report eine Gesamtwachstumsrate von 12 % bis zum Jahr 2021 angesetzt – dann würde der Markt ein Volumen von 66 Milliarden US-Dollar erreicht haben. Derzeit gilt das Segment Consumer Products angesichts der weiter steigenden Zahl von Smartphones als aussichtsreichster Kandidat für die Spitzenposition. Große Wachstumshoffnungen werden außer in die Kraftfahrzeugtechnik aber auch in die Medizintechnik mit all ihren Facetten gesetzt. Allerdings stellt hier die Stromversorgung ein interessantes Problem dar, weil zum Beispiel MEMS-Pillen nicht gut mit Batterien aus dem Magen funken können.

Intelligente Sensoren sind in Verbindung mit dem IoT die Basis für die Megatrends Smart Factories, Smart Cities und Smart Products. MEMS sind als als Bestandteil der Mikro- und Nanoelektronik mehr als nur Sensoren: Sie messen nicht bloß, sondern verarbeiten die Messwerte, bewerten sie und kommunizieren mit weiteren zahlreichen Sensoren, Maschinen oder Netzwerken. Manche MEMS versorgen sich sogar bereits autark mit elektrischer Energie. Das Stichwort hierzu lautet Energy Harvesting . Die MEMS wandeln zum Beispiel Funk- oder Schallwellen in Energie um, manche auch Vibrationen, Druck, Stöße oder Wärme. Die Beträge sind zwar minimal, reichen aber für die meisten Anwendungen aus.

Durch Miniaturisierung mithilfe von Produktionsprozessen aus der Halbleiterfertigung erzielen MEMS-Komponenten deutliche Kosteneinsparungen, weil sich der Materialaufwand reduziert und eine effiziente Massenfertigung möglich ist. Das wiederum hatte den Markt eine Zeitlang ausgebremst, der sich mittlerweile kräftig konsolidiert hat.