Im Geschäftsfeld MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Sensoren)werden innovative Sensorkonzepte für siliziumbasierte MEMS Sensoren (insbesondere Druck, Kraft, Cantilever) sowie Multisensorik entwickelt und zusammen mit industriellen Anwendern in kundenspezifische Lösungen überführt.
Langzeitstabilität, hohe Genauigkeit, der Einsatz in harschen Umgebungen und Sensoren für erneuerbare Energien (Wasserstoffdrucksensoren, Sensoren für Elektrolyseure usw.) sind dabei im Schwerpunkt. Neben dem Design und der Prozessierung des Siliziumsensorelementes bilden dabei Aufbau- und Verbindungstechnik sowie die Messtechnik und Analytik wesentliche Elemente der Wertschöpfung.