Innovative Inline-Vakuumbeschichtungssysteme mit vertikalem & horizontalem Substrattransport
HOCHLEISTUNGS-BESCHICHTUNGEN FÜR WASSERSTOFFANWENDUNGEN
Mit dem wachsenden Bedarf an grünem Wasserstoff spielen Brennstoffzellen und Elektrolyseure eine zentrale Rolle in der Energiewende. Ein essenzieller Bestandteil dieser Technologien ist die Bipolarplatte, die eine effiziente Gasverteilung, elektrische Leitfähigkeit und Langlebigkeit sicherstellt. Hochleistungsbeschichtungen sind entscheidend, um die Korrosionsbeständigkeit zu erhöhen, die Leitfähigkeit zu verbessern und die Lebensdauer dieser Schlüsselkomponenten zu verlängern.
SINGULUS TECHNOLOGIES entwickelt und produziert fortschrittliche Vakuumbeschichtungssysteme für die Herstellung von Bipolarplatten in Brennstoffzellen und Elektrolyseuren. Die Inline-Kathodenzerstäubungssysteme – z.B. die VISTARIS PVD mit vertikalem Substrattransport und die GENERIS PVD-Serie mit horizontalem Substrattransport – ermöglichen die präzise und genaue Abscheidung hochreiner, spezialisierter Schichtsysteme auf metallischen und Verbundwerkstoff-Substraten. Diese Beschichtungen optimieren die elektrischen und chemischen Eigenschaften der Bipolarplatten und gewährleisten höchste Effizienz sowie langfristige Stabilität in Wasserstoffanwendungen.
Typische Leistungsmerkmale:
• Parallele Bearbeitung mehrerer Substrate, verschiedene Substratgrößen möglich
• Modulares Design, manuelle oder halbautomatische Laborversionen auf Anfrage
• Niedrige Betriebskosten und hohe Verfügbarkeit
• Effiziente Substrat-Vorbehandlung
• Substratheizung vor und während des Beschichtungsprozesses
• Beidseitiges Sputtern
• Flexible Anpassung der Sputtersequenz
• Rotierbare zylindrische Magnetrons für höchste Materialausnutzung
• Spezielles Edelmetall-Rückgewinnungssystem mit vollständiger Recyclingkette
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